- 실리콘에 기초한 마이크로 가공기술
- ㆍ 저자명
- 김창진
- ㆍ 간행물명
- 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1993년|42권 10호|pp.37-42 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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실리콘에 기초한 마이크로가공은 IC제작 기술에서 태동하여, MEMS의 실현을 위해 다양한 기술들이 개발되고 있다. 이 글에서는 그 중 큰 가지라 할 수 있는 기판 마이크로가공, 표면 마이크로가공, 그리고 마이크로 전기도금의 원리에 대해 설명하고 몇 가지의 응용예를 소개해 보았다. 이를 바탕으로 하루가 다르게 발전하는 마이크로 가공기술들을 접하는 데 조금이나마 도움이 되었으면 한다,