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비정질 $PbTiO_3$ 박막의 결정화에 관한 연구
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  • 비정질 $PbTiO_3$ 박막의 결정화에 관한 연구
저자명
강영민,김상섭,백성기
간행물명
요업학회지
권/호정보
1993년|30권 5호|pp.389-396 (8 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We studied the crystallization behavior of amorphous PbTiO3 thin film grown at 30$0^{circ}C$ by RF magnetron sputtering on Pt substrate. Crystallization to full perovskite phase was observed after annealing at 475$^{circ}C$, for 9min, without PbO volatilization. The higher the annealing temperature, the shorter the time required for crystallization. The isothermal kinetic study at 475$^{circ}C$ showed that the Avrami constant was approximately 4, which implies that the crystallization can be characterized by isotropic 3-dimensional growth with a constant nucleation rate. The TEM study revealed that the crystallized thin film was composed of very fine (20~100nm) grains oriented randomly without any evidence of 90$^{circ}$domain boundaries.