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CoCrMo/Cr 자성박막의 제조조건이 자기적성질에 미치는 영향
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  • CoCrMo/Cr 자성박막의 제조조건이 자기적성질에 미치는 영향
저자명
박정용,남인탁,홍양기
간행물명
韓國磁氣學會誌
권/호정보
1993년|3권 4호|pp.320-324 (5 pages)
발행정보
한국자기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

스퍼터된 자기기록매체 Co-10at%Cr-2at%Mo/Cr 자성박막의 제조조건이 미세구조와 자기적특성에 미치는 영향을 조사하였다. 기판의 온도는 상온-$250^{circ}C$로 하였으며 Cr하지층과 CoCrMo층의 두께는 각각 $1000-2500AA$, $300-800AA$이었다. CoCrMo층의 두께가 $500{AA}-800{AA}$ 증가함에 따라 결정립은 미세화 되었으며 균일한 조직을 나타냈다. 보자력은 기판의 온도, CoCrMo자성층, Cr하지층의 두께 를 증가시켰을때 향상되었다. 기판온도가 $250^{circ}C$, 자성층의 두께가 $700AA$, Cr 하지층의 두께가 $1000AA$일때 880 Oe의 보자력을 나타냈다.

기타언어초록

The effect of sputtering conditions on magnetic properties of CoCrMo/Cr magnetic thin film was investigated. Substrate temperature were controlled from R. T to $250^{circ}C$. The thickness changes of Cr underlayer and CoCrMo magnetic layer were in the range of $1000-2500AA$ and $300-800AA$, respectively. Grain size was found to be decreased with increasing magnetic layer thickness(from $500AA$ to $800AA$). CoCrMo magnetic layer microstructure showed relatively small dependence on Cr underlayer thickness, substrate temperature. Coercivity increased with increasing Cr underlayer, magnetic layer thickness and substrate temperature. CoCrMo/Cr thin film showed a coercivity of 880 Oe in $700AA$ magnetic layer thickness and $1000AA$ Cr underalyer thickness.