- CoCrMo/Cr 자성박막의 제조조건이 자기적성질에 미치는 영향
- ㆍ 저자명
- 박정용,남인탁,홍양기
- ㆍ 간행물명
- 韓國磁氣學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1993년|3권 4호|pp.320-324 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국자기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
스퍼터된 자기기록매체 Co-10at%Cr-2at%Mo/Cr 자성박막의 제조조건이 미세구조와 자기적특성에 미치는 영향을 조사하였다. 기판의 온도는 상온-$250^{circ}C$로 하였으며 Cr하지층과 CoCrMo층의 두께는 각각 $1000-2500AA$, $300-800AA$이었다. CoCrMo층의 두께가 $500{AA}-800{AA}$ 증가함에 따라 결정립은 미세화 되었으며 균일한 조직을 나타냈다. 보자력은 기판의 온도, CoCrMo자성층, Cr하지층의 두께 를 증가시켰을때 향상되었다. 기판온도가 $250^{circ}C$, 자성층의 두께가 $700AA$, Cr 하지층의 두께가 $1000AA$일때 880 Oe의 보자력을 나타냈다.
The effect of sputtering conditions on magnetic properties of CoCrMo/Cr magnetic thin film was investigated. Substrate temperature were controlled from R. T to $250^{circ}C$. The thickness changes of Cr underlayer and CoCrMo magnetic layer were in the range of $1000-2500AA$ and $300-800AA$, respectively. Grain size was found to be decreased with increasing magnetic layer thickness(from $500AA$ to $800AA$). CoCrMo magnetic layer microstructure showed relatively small dependence on Cr underlayer thickness, substrate temperature. Coercivity increased with increasing Cr underlayer, magnetic layer thickness and substrate temperature. CoCrMo/Cr thin film showed a coercivity of 880 Oe in $700AA$ magnetic layer thickness and $1000AA$ Cr underalyer thickness.