- 고온에서 반도체에 인을 도핑하기 위한 새로운 고체 판상 원료에 관한 연구
- A study on the new solid planar source for high-temperature phosphorus doping of semiconductors
- ㆍ 저자명
- 김영식,신방섭
- ㆍ 간행물명
- 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1993년|6권 3호|pp.214-219 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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