- Si(111)-7${ imes}$7 표면의 초기산화 단계에서의 국부 일함수 변화
- ㆍ 저자명
- 임삼호,구세정,김기정,박찬,서재명,Im. Sam-Ho,Gu. Se-Jeong,Kim. Gi-Jeong,Park. Chan,Seo. Jae-Myeong
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1993년|2권 2호|pp.166-170 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
자외선-광전자-분광법(UPS)를 이용하여 저온(40K)으로 유지된 Si(111)-7${ imes}$7 표면에 산소를 노출시킨 후 잰 평균 일함수가 제논-흡착-광전자 분광법(PAX)을 이용하여 잰 동일 표면의 변화된 부분의 국부 일함수보다 약 0.4V 가량 높은 것을 발견하였다. 이는 Si(111)-7${ imes}$7 표면의 초기 산화 단계에서 커다란 일함수 변화를 유도하는 요인은 표면에 분자상태로 흡착된 산소임을 시사한다. 또한 Xe 3d 및 5p 에너지 밀도곡선들의 이동으로부터 변화된 부분의 일함수가 변화되지 않은 부분의 일함수보다 0.6eV 높은 것을 알 수 있었다.
In the initial stages of oxidation of Si(111)-7${ imes}$7 held at 40K through exposing molecular oxygen, it has been detected average work-function measured by ultraviolet photoelectron spectroscopy (UPS) is about 0.4eV higher than the local work-function of the modified area measured by photoemission for adsorbed Xenon (PAX). This result indicates that the increment of work-function at the initial oxidation stages of Si(111)-7${ imes}$7 is mainly due to the moleculary adsorbed oxygen. From the shift of broadened Xe 5p and Xe 3d, it has also been estimated that the work-function of the modified area is 0.6eV higher than that of the clean area.