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AES-LEED 장치의 설계 및 제작과 Ni/Pt(111)계에 관한 연구
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  • AES-LEED 장치의 설계 및 제작과 Ni/Pt(111)계에 관한 연구
저자명
이순보,부진효,이성용,박종윤,곽현태,Lee. Sun-Bo,Bu. Jin-Hyo,Lee. Seong-Yong,Park. Jong-Yun,Gwak. Hyeon-Tae
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1993년|2권 2호|pp.145-151 (7 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 연구에서는 표면 분석 장비에 필요한 초고진공 용기를 설계 제작하였으며, LEED optics를 이용한 AES와 LEED 제어 장비를 설계하여 제작하였다. 제작된 일련의 장비들을 이용하여 LEED optics의 전자에너지 분해능을 측정하고, Pt(111) 표면에 증착된 Ni의 성장양식을 단분자층과 단분자층의 형성모델을 가정하여 증착된 Ni의 두께를 Auger signal의 비로부터 구하였다.

기타언어초록

Ultra High Vacuum chamber for surface analysis and a series of AES-LEED controllers for LEED optics was designed and constructed. Electron energy resolution of LEED optics was tested. On the basis of the layer by layer mode, thickness of evaporated Ni on Pt(111) was calculated from the Auger signal ratio.