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LEED, SRPES를 이용한 Mg/Si(111)계의 연구
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  • LEED, SRPES를 이용한 Mg/Si(111)계의 연구
저자명
안기석,박래준,김정선,박종윤,이순보
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1994년|3권 3호|pp.275-279 (5 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Low Energy Electron Diffraction(LEED)와 Synchrotron Radiation Photoelectron Spe-ctroscopy (SRPES)를 이용하여 $Si(111)7{ imes}7$ 표면위에 Mg의 흡착에 의한 초기계면과 실리사이드의 형성에 대하여 연구하였다. 기판온도를 상온으로 유지하는 경우 증착량의 증가에 따라 LEED pattern은 diffuse 7${ imes}$7 diffuse 1${ imes}$1, $2/3sqrt{3}{ imes}2/3sqrt{3} R30^{cdot}$ 구조로 변화하였다. $300^{cdot}C$의 기판온도에서 관측되는 1${ imes}$1 구조에 대한 surface sensitive Si 2p core level spectrum의 fitting 결과로부터 이 1${ imes}$1구조는 적층성장한 Mg2Si 박막에 의한 구조임을 알수 있다. 그러나 이 1${ imes}$1구조를 가진 Mg2Si 박막이 성장하지 못함을 예상할 수 있다. 그결과 Mg의 계속된 증착에도 불구하고 비정질의 Mgqkr막이 성장하였다.