- 초고진공 Scanning Tunneling Microscope의 제작
- ㆍ 저자명
- 손은숙,홍영규,박찬
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1994년|3권 4호|pp.377-381 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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초고진공(UHV) Scanning Tummeling Microscopy(STM)을 제작하였다. 8인치 프란지에 부착한 STM은 초고진공에서 시료의 통전가열이 가능하며 다른 표면 측정방법의 적용과시료처리가 용이하다. 외부로부터 초고진공을 깨지 않고 시료와 tip의 도입이 가능하며 tip을 가열할 수 있다. 완성된 장치로 Si(111)-7$ imes$7 구조의 STM상을 얻었다.