- 기체분자의 MAC를 이용한 압력게이지의 제작 및 특성 평가 연구
- ㆍ 저자명
- 권명희
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1994년|3권 4호|pp.395-400 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
본 연구에서는 LRDC 트랜스듀서를 장착한 변형된 회전 진자를 제작하여 1$ imes$10-2 Torr에서 1-10-5 Torr 사이의 Ar 압력을 측정하였다. 비구동 회전 진자의 진폭은 기체 분자와의 충돌에 의한 감 쇄가 일어난다. 회전 진자의 감쇄에 의한 특성 함수를 측정하여 본 연구팀은 일반적인 진공 측정 장비 로는 측정이 어려운 1-10-5 Torr에서 1-10-5 Torr 사이의 Ar 압력을 정확하게 측정할 수 있었다.