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진공 증발법으로 증착한 Cr, Cr$_2$O$_3$ 박막의 조직 및 특성에 관한 연구
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  • 진공 증발법으로 증착한 Cr, Cr$_2$O$_3$ 박막의 조직 및 특성에 관한 연구
저자명
이종민,이정중
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1994년|27권 2호|pp.74-82 (9 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The structure and properties such as adhesion and corrosion resistance of Cr and $Cr_2O_3$ films, deposited on steel plates by the vacuum evaporation method, were investigated. According to the ESCA and AES analy-sis, it could be concluded that chromium oxide with uniform composition could be formed on the steel sub-strate. The deposited Cr and $Cr_2O_3$ films had high adhesion strength, and they did not peeled off by the tape test. The adhesion property, however, was deteriorated as the film thciknes increased. After bending of the deposited specimen many cracks were observed by SEM, and they were assumed to have propagated along co-lumnar boundaries by the bending test. The corrosion resistance of the films was not generally good, which in-dicates that the films had a porous structure with a large number of defects such as pin holes and voids.