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레이저 어브레이션법에 의한 ${YBa}_{2}{Cu}_{3}{O}_{7-x}$ 박막의 제조와 특성
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  • 레이저 어브레이션법에 의한 ${YBa}_{2}{Cu}_{3}{O}_{7-x}$ 박막의 제조와 특성
저자명
이덕출,최충석
간행물명
電氣學會論文誌
권/호정보
1995년|44권 8호|pp.1063-1067 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The superconducting properties of YBa$_{2}$Cu$_{3}$$O_{7-x}$(YBaCuO) thin films prepared by laser ablation have been investigated. The x-ray diffraction patterns and surface morphology of the films were substantially different from one another. The compositional ratios of YBaCuO films were controlled by the conditions of the target-substrate distance. The YBaCuO films manufactured on MgO(100) substrate were indicated T$_{c}$(zero)=91.2 K, T$_{c}$(onset)=93 K, and J$_{c}$=3.5*10$^{5}$ A/cm$^{2}$(at 77.3K). The optimum conditions were found to be a substrate temperature of 710 .deg. C, a energy density of 2 J/cm$^{2}$, and a target-substrate distance of 60 mm in an oxygen partial pressure of 200 mTorr.0 mTorr.