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on-axis 스퍼터링 방법에 의한 $YBa_2Cu_3O_{7-y}$ 초전도 박막 제조
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  • on-axis 스퍼터링 방법에 의한 $YBa_2Cu_3O_{7-y}$ 초전도 박막 제조
저자명
한재원,박정래,최무용
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1995년|4권 2호|pp.172-176 (5 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$YBa_2Cu_3O_{7-y}$ thin films have been prepared on MgO(100)substrates placed on-axis to the target by dc magnetron sputtering in a variety of oxygen/argon gas pressures with different substrate-target distances. We found that films with the c-axis perpendicular to the substrate deposited in an optimally high gas pressure with on-axis substrate-target configuration do. Increasing the substrate-target distance was found to be effetive in reducing the resputtering effect and enhancing superconductivity of films, but not so much $alpha$-and c-axis growth of YMCO films on MgO substrates. Dependences of the Tc, the rationj of resistances at 300K and 100K, and the X-ray diffraction pattern on the gas pressure and the substrate target distance are described.