기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
직접 접합된 실리콘 기판쌍에 있어서 계면 산화막의 상태와 이의 새로운 평가 방법
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 직접 접합된 실리콘 기판쌍에 있어서 계면 산화막의 상태와 이의 새로운 평가 방법
저자명
주병권,이윤희,정회현,정경수,차균현,오명현
간행물명
電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A
권/호정보
1995년|3호|pp.134-142 (9 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

We discovered that each distinct shape of the roof-shaped peaks of (111) facets, which are generated on (110) cross-section of the directly bonded (100) silicon wafer pairs after KOH etching, can be mapped to one of three conditions of the interfacial oxide existing at the bonding interface as follows. That is, thick solid line can be mapped to stabilization, thin solid line to disintegration, and thin broken line to spheroidization. also we confirmed that most of the interfacial oxides of a well-aligned wafer pairs were disintegrated and spheroidized through high-temperature annealing process above 900$^{circ}$C while the oxide was stabilized persistently when two wafers are bonded rotationally around their common axis perpendicular to the wafer planes.