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<tex>$pbTiO_3$</tex> 졸-겔 박막의 화학분석
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저자명
김승현,김창은,심인보,오영제
간행물명
요업학회지
권/호정보
1996년|33권 6호|pp.623-630 (8 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A Sol-gel derived ferroelectric PbTiO3 thin film was synthesized by using diethanolamine (DEA) as a comple-xing agent. Surface chemical analyses were examined in order to study the effect of heating temperature on the composition of thin film by EPMA and XPS. A rapid volatilization of lead was observed in the films fired at $700^{circ}C$ or higher and the ratio of Pb:Ti was found to be 34:66. A depth profile by Ar+ showed that the Ar sputtering decreased Pb amount of inner part of the film resulting in Ti-rich phase near the surface of the film.