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RF Magnetron Sputtering으로 제작된 MnSbPt 합금박막의 자기광학적 성질
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  • RF Magnetron Sputtering으로 제작된 MnSbPt 합금박막의 자기광학적 성질
저자명
송영민,이경재,김종오
간행물명
韓國磁氣學會誌
권/호정보
1996년|6권 2호|pp.93-97 (5 pages)
발행정보
한국자기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 실험에서는 magnetron sputtering 법으로 MnSb 합금에 Pt가 고용된 형태의 MnSbPt 합금박막의 제조하였다. 제조된 박막을 $300^{circ}C$에서 3, 4, 5시간 각각 대기중과 진공중에서 열처리하여 자기적 성질과 자기광학적 성질의 변화를 조사하였다. 전 조성에 걸쳐 대기중 열처리에 의한 자기적, 자기광학적 성질은 열화되지 않아 대기중에서의 기록과정에 문제가 없음을 관찰하였다. 진공중에서 $300^{circ}C$ 4시간 열처리한 $Mn_{43}Sb_{46}Pt_{11}$의 경우, 550 nm의 입사파장에서 약 $0.82^{circ}$의 Kerr 회전각을 보여 고밀도기록의 기능성을 보여 주었다. 그러나 수직자화막은 얻을 수 없었으며 보자력은 약 400 Oe 이하로 실용적 측면에서는 많은 문제점이 남아 있다.

기타언어초록

The effects of annealing after deposition on the magnetic and magneto-optical properties of MnSbPt thin films prepared by rf sputtering were investigated. The MnSbPt alloy thin films were annealed in a vacuum with $10^{-5}$ Torr and the air, respectively, as a function of temperature and time. The films annealed at $300^{circ}C$ for 4 hours was found to have the highest value of the saturation magnetization. The films annealed in the air did not show any thermal degradations, which indicates their chemical stability for the magneto-optical recording process. It was revealed that the $Mn_{43}Sb_{46}Pt_{11}$ films annealed at $300^{circ}C$ for 4hours in a vacuum with $10^{-5}$ Torr exhibit high Kerr rotation angle of $0.8^{circ}$ for the incident wavelength of 550nm, which is ascribed to the increase of the volume ratio of Clb phase. However, similar to the PtMnSb alloy thin films, these films are still horizontally magnetized and have the coercive field less than 400 Oe.