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ZnO와 ZnO-CuO후막의 일산화탄소 감응특성
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  • ZnO와 ZnO-CuO후막의 일산화탄소 감응특성
  • CO gas sensitivity of ZnO and ZnO-CuO thick films
저자명
전석택,최우성
간행물명
電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
권/호정보
1996년|9권 8호|pp.819-824 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have investigated the temperature dependence of CO gas sensitivity for ZnO and ZnO-CuO thick films at 200 ppm CO gas, where those films were prepared by thermal transformation. The ZnO thick film shows the maximum sensitivity of -4 at >$300^{circ}C$ On the other hand, ZnO-CuO(more than 1mol%) thick film shows that the maximum sensitivity reduced to less than 1.5. The decrease in sensitivity of CO gas with increasing the CuO contents is due to the decrease of the oxygen absorption in thick films.