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FIELD EMISSION CHARACTERISTICS OF DIAMOND FILMS
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저자명
Park. Kyung-Ho,Lee. Soon-Il,Koh. Ken-Ha,Park. Jung-Il,Park. Kwang-Ja
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1996년|29권 5호|pp.505-511 (7 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The field emission characteristics of diamond films deposited by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MPECVD) method were investigated. Diamond films were deposited on n-type Si(100) wafer using various mixtures of hydrogen and methane gas, and the I-V characteristics are measured. We observed that the field emission characteristics depend on the $CH_4$ concentration and the diamond film thickness. All the films show remarkable emission characteristics; low turn-on voltage, high emission current density at lower voltage, uniform stable current density, and good stability and reproducibility. The threshold field for producing a current density of 1mA/$ extrm{cm}^2$ is found as low as 7.6V/$mu extrm{m}$.