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AN APPLICATION OF PLASMA-POLYMERIZED YbPc$_2$ FILM: HUMIDITY SENSOR
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  • AN APPLICATION OF PLASMA-POLYMERIZED YbPc$_2$ FILM: HUMIDITY SENSOR
  • AN APPLICATION OF PLASMA-POLYMERIZED YbPc$_2$ FILM: HUMIDITY SENSOR
저자명
Yamana. Masao,Kashiwazaki. Naoya
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1996년|29권 6호|pp.703-708 (6 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Humidity sensing cheracterisrics of vacuum deposited plasma poly merized $YbPc_2$ films were evaluated. In both films, humidity caused an increase of pro-ton conduction. Polymerised film shows a threshold fo humidity increase and its sensitivity diminishes more than $38^{circ}C$ of relative humidity. Furthermore, for the polymerized film, two min. of resssponse time and 1 min. of recovery time are also obtained. The sensitivity between 10% and 85% of relative hum-idities is found to be one hundred higher than that of the vacuum deposited film.