- 반도체 Burn-In 공정용 장비 개발
- ㆍ 저자명
- 유동상
- ㆍ 간행물명
- 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1997년|46권 10호|pp.33-39 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본고에서는 Burn-In 공정의 구성 및 개발 방향에 대해 기술하고, LG생산기술원에서 지금까지 개발해 왔던 Burn-In 공정용 장비의 구성 및 특징에 대해서 기술하고자 한다.