- 반도체 장비용 공정제어기의 구조 및 기능
- ㆍ 저자명
- 유준,김재형,송태승,장종태,정기로
- ㆍ 간행물명
- 제어·자동화·시스템공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1997년|3권 2호|pp.6-12 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 제어로봇시스템학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
현재 국내에서 반도체 장비용 공정제어기의 개발에 관심이 고조되고 있는 시점에서, 본 고에서는 반도체 장비용 공정제어기가 갖추어야 될 구조와 기능을 상용 제품의 기술검토를 통하여 정리해 보고 저자연구실에서 수행되고 있는 연구사례를 소개한다.