기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
열처리 효과가 CoTi계 박막의 표면자기특성에 미치는 영향
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 열처리 효과가 CoTi계 박막의 표면자기특성에 미치는 영향
저자명
김약연,백종성,이성재,임우영,이수형
간행물명
韓國磁氣學會誌
권/호정보
1997년|7권 1호|pp.38-43 (6 pages)
발행정보
한국자기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

열처리 효과가 DC 마그네트론 스파터링 방법으로 제작한 $Co_{1-x}$ $Ti_{x}$(X = 0.13, 0.16, 0.21 at.%)계 박막의 표면자기특성에 미치는 영향을 조사하기 위하여, 제작된 시료를 150 .deg. C, 175 .deg. C, 200 .deg. C, 225 .deg. C 및 250 .deg. C의 공기 분위기에서 각각 1 시간씩 열처리한 후, 강자성 공명 실험을 통해 관측된 스핀파 공명 흡수선의 거동을 고찰했다. 모든 시료에 대해 다수의 volume mode 스핀파와 한 개 또는 두 개의 surgace mode 스핀파가 관측되었는데, 대체적으로 이와같은 현상은 시료 양면의 표면이방성이 0보다 작은 경우에 나타나는 특성이다. 열처리 온도가 150 .deg. C에서 250 .deg. C로 증가함에 따라 $K_{s2}$는 -0.11 erg/c $m_{2}$에서 -0.25 erg/$cm^{2}$로 미약하게 감소했으며, $K_{s1}$은 0.16 erg/$cm^{2}$에서 -0.53 erg/$cm^{2}$로 변화하는 모습을 보였다. 이와 같은 현상은 저온 열처리 과정(150 .deg. C ~ 200 .deg. C) 에서 공기쪽 표면층에 존재하는 Ti이 산화하여 공기쪽 표면층의 Co함량이 증가했고, 고온 열처리 과정 (225 .deg. C ~ 250 .deg. C)에서 Co 원자가 확산하므로서 나타나는 현상으로 해석된다.석된다.

기타언어초록

For amorphous $Co_{1-x}Ti_x$(X=0.13, 0.16, 0.21 at.%) thin films deposited by DC magnetron sputtering method ferromagnetic resonance experiments have been used to investigate the dependence of surface magnetic properties according to annealing temperature (150~225 $^{circ}C$). Spin wave resonance spectra for all annealing temperatures consist of several volume modes and one(or two) surface mode. It is suggested that both surfaces of the film have a perpendicular hard axis to the film plane(negative surface anisotropy). Also, the surface anisotropy $K_{s2}$ at substrate film interface is varied slowly from -0.11 to -0.25 erg/ $ extrm{cm}^2$ and the surface anisotropy $K_{s1}$ at film-air interface is varied from 0.16 to -0.53 erg/ $ extrm{cm}^2$ with increasing annealing temperature. We conjecture that the variation of surface anisotropy $K_{s1}$ is due to the increase of Co concentration resulted from Ti oxidation for low temperature annealing(150~200 $^{circ}C$) and the diffusion of Co atoms near the film surfaces for high temperature annealing(225~250 $^{circ}C$).