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Electrohydrodynamic Micropump Driven by Traveling Electric Fields
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  • Electrohydrodynamic Micropump Driven by Traveling Electric Fields
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저자명
Park. Jin-Woo,Kim. Yong-Kweon
간행물명
Journal of electrical engineering and information science
권/호정보
1997년|2권 3호|pp.99-104 (6 pages)
발행정보
한국정보과학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A novel driving theory on the electrohydrodynamic (EHD) pump driven by traveling electric fields without the temperature gradient is proposed. The equations of the generating pressure and the flow rate are derived. The EHD micropump is fabricated by micromachining technology and tested. The channel heights are 50$mu extrm{m}$, 100$mu extrm{m}$ and 200$mu extrm{m}$ are respectively an the channel width is 3 mm. The spacing and width of the electrodes are both 40$mu extrm{m}$. The maximum pressure is 70.3 Pa, 35.4 Pa and 17.2 pa at he frequency of 0.2Hz for each channel height (50$mu extrm{m}$, 100$mu extrm{m}$ and 200$mu extrm{m}$) and the maximum flow rate is 0.90x10ulcorner ${mu}$$ell$/min, 1.88x10ulcorner ${mu}$$ell$/min and 4.85x10ulcorner ${mu}$$ell$/min at the frequency of 0.4H for each channel height.