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SoI-Gel법에 의한 Pb(Zr, Ti)$ extrm{O}_3$박막의 강유전체 특성
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  • SoI-Gel법에 의한 Pb(Zr, Ti)$ extrm{O}_3$박막의 강유전체 특성
ㆍ 저자명
고가연,이은구,박진성,이종국,이우선,이재갑,Go. Ga-Yeon,Lee. Eun-Gu,Park. Jin-Seong,Lee. Jong-Guk,Lee. U-Seon,Lee. Jae-Gap
ㆍ 간행물명
한국재료학회지
ㆍ 권/호정보
1997년|7권 6호|pp.479-483 (5 pages)
ㆍ 발행정보
한국재료학회
ㆍ 파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
ㆍ 주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Sol-gel법으로 제작한 여러 종류의 Zr/Ti비율을 갖고 있는 PZT박막의 전지적 특성과 신뢰성 특성을 상부 백금 전극을 sputtering으로 증착하고 Ar 기체로 반응성 이온 식각(RIE)방법으로 패턴을 형성한 후 열처리온도의 변화에 따라 조사하였다. Hysteresis loop특성을 되찾게 하였다. Zr/Ti 비율이 감소함에 따라 voltage shift가 증가하였으며 internal field가 없어지는 열처리 온도가 증가하였다. Zr/Ti비율이 감소함에 따라 초기 잔류 분극은 증가하였으나 switching 횟수가 증가됨에 따라 잔류 분극이 급속히 감소하였다.

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