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졸-겔법에 의한 이트리안 안정화 지프코니아박막의 결정화
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  • 졸-겔법에 의한 이트리안 안정화 지프코니아박막의 결정화
저자명
서원찬,조차제,윤영섭,황운석
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1997년|30권 3호|pp.183-190 (8 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Fabrication and crystallization characteristics of yttria($T_2O_3$) stabilized zirconia(YSZ) thin film by sol-gel process were studied. YSZ sol was synthesized with zirconium n-propoxide($Zr(OC_3H_7)_4)$) and yttrium nitrate pentahydrate ($Y(NO_3)_3.5H_2O$). YSZ film was prepared by depositing the polymeric sol on porous $Al_2O_3$ substrate by spin-coating, and the film characteristics were investigated by FRIR, TG-DTA, XRD, DSC, optical microscopy and SEM. The film topology was uniform and cracks were not found. It was found that the annealing temperature and the concentration of stabilizer affect the crystallization of YSZ film. The YSZ film began to crystallize from amorphous to tetragonal phase at 40$0^{circ}C$, and it was not converted to cubic structure until $1100^{circ}C$. It seemed that the grains were formed over $700^{circ}C$and the average grain size was obtained about 0.2$mu extrm{m}$.