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Sol-Gel법으로 제조한 PLT박막의 초전 특성
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  • Sol-Gel법으로 제조한 PLT박막의 초전 특성
  • Pyroelectric Properties of the PLT Thin Films Prepared by Sol-Gel Method
저자명
김양선,정장호,박인길,이성갑,이영희
간행물명
電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
권/호정보
1997년|10권 6호|pp.541-547 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

(Pb$_{1-x}$ La$_{x}$)Ti$_{1-x}$ $_4$O$_3$(x=0, 0.02, 0.04, 0.08) ceramic thin films were fabricated by Sol-Gel method. A stock solution of (Pb, La)TiO$_3$ with excess Pb 10 mol% was made and spin-coated on the Pt/Ti/SiO$_2$/Si substrate at 400rpm for 30 seconds. Coated specimens were dried on the hot-plate at 35$0^{circ}C$ for 10 min and sintered at 500~75$0^{circ}C$ for 1 hour. The dielectric constant, remanent polarization and coercive field of the PLT(6at.%) thin films sintered at $650^{circ}C$ were 884, 13.95$mu$C/$ extrm{cm}^2$ and 8.7kV/cm, respectively. Pyroelectric coefficient, figure of merit of pyroelectric current, voltage responsivity and detectivity of PLT(6at.%) thin films were 3.2$ imes$10$^{-8}$ C/$ extrm{cm}^2$K, 1.02$ imes$10$^{-8}$ C.cm/J, 2.9 $ imes$10$^{-11}$ C.cm/J, 0.29$ imes$10$^{-8}$ C.cm/J, respectively.ely.