초 LSI의 고깁적화에 따라서 세정용으로 사용되는 초순수의 기술개발에도 눈부실만한 것이 있다. 초순수 수질은 회로에 직접 영향을 주므로 고순도화가 더욱더 진행되고 있으나, 건설 코스트가 증대되므로 단순하게 수질을 향상시키는 것뿐만 아니라, 설비비의 절감 및 환경 문제를 고려하여 배수회수를 위한 방법도 적극적으로 이루어 지고 있다. 본고에서는 초순수 수질의 변천, 수질을 보증하기 위한 분석기술 또한 배수 회수 기술을 포함한 초순수 제조 기술에 대한 최근의 동향에 대해 소개하기로 한다.