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PLD 장치를 이용한 $NbS_2$ 박막의 제작
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  • PLD 장치를 이용한 $NbS_2$ 박막의 제작
저자명
박종만,이혜연,정중현,Park. Jong-Man,Lee. Hea-Yeon,Jeong. Jung-Hyun
간행물명
센서학회지
권/호정보
1998년|7권 5호|pp.372-376 (5 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

기능성 소자 응용을 위한 다양한 박막을 성장시키기 위하여 PLD(Pulsed Laser Deposition) 장치를 제작 개발하였다. 이 PLD 장치를 이용하여 $NbS_2$ 박막을 $Al_2O_3$(012) 기판과 Si(111) 기판 위에 성장시켰다. 결정성 박막의 성장조건을 조사하기 위하여 기판온도를 실온${sim}600^{circ}C$, 타겟의 성분비(S/Nb)를 $2.0{sim}5.25$로 변화시켰다. XRD 패턴으로부터 기판온도가 $600^{circ}C$이고 타겟의 성분비가 4.0일 때 c-축 배향을 나타내는 양호한 결정성의 $NbS_2$박막이 성장되었다. Si(111) 기판 위보다 $Al_2O_3$(012) 기판 위에서 보다 양질의 $NbS_2$ 박막이 성장되었음을 알 수 있었다.

기타언어초록

We developed a pulsed laser deposition(PLD) apparatus for depositing various thin films. In this study, the formation of $NbS_2$ thin film was performed in the vacuum chamber by PLD method. $Al_2O_3$(012) and Si(111) were used as the substrates. In order to investigate the growth conditions of a high crystalline $NbS_2$ thin film, the S/Nb composition ratio was varied from 2.0 to 5.25 and the substrate temperature was varied from the room temperature to $600^{circ}C$. From the result of X-ray diffraction studies of the prepared $NbS_2$ thin films, it was reported that the $NbS_2$, thin film showed a good crystallinity at substrate temperature $600^{circ}C$ and with S/Nb composition ratio 4.0 on $Al_2O_3$(012) but did not on Si(111). The films exhibited c-axis orientation.