$Ti(i-OC_3H_7)_4$알콕사이드를 출발원료로 사용한 sol-gel법을 이용하여 Rutle, Anatase 결정상의 $TiO_2$박막을 제조하였다. 결정화 정도란 관점에서 $TiO_2$ 박막의 결정상에 미치는 첨가물의 영향을 조사하였다. 3차 비선형 광학 감수율을 THG법을 이용하여 측정하였으며, Rutle 과 Anatase 결정상의 $TiO_2$ 박막의 3차 비선형 광학 감수율은 각각 $1.4{ imes}10^{-12}$과 $9.7{ imes}10^{-13}$ esu의 값을 얻었다.
$TiO_2$films of rutile and anatase phase have been prepared on silica glass substrates by the sol-gel method using $Ti(i-OC_3H_7)_4$. The effect of additives on the polymorph of $TiO_2$film has been examined in view of degree of crystallization. Third-order nonlinear optical properties of the both film have been investigated by the third harmonic generation method. The measured 3rd order nonlinear optical susceptibility of rutile and anatase thin films were about $1.4{ imes}10^{-12}$ and $9.7{ imes}10^{-13}$ esu, respectively.
