- 레이저 라만 분광법을 이용한 도립형 OMVPE 반응기의 기상 온도 분포 측정
- ㆍ 저자명
- 박진호
- ㆍ 간행물명
- 한국결정성장학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|8권 3호|pp.448-453 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국결정성장학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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도립형 OMVPE 반응기를 레이저 라만 분광법을 사용하여 조사하였다. 운반기체인 질소나 수소의 순수한 회전 라만 분산 스펙트럼을 통해 반응기 내부의 축 중심 방향의 온도 분포를 정확히 측정할 수 있었다. 주입 기체의 유속과 반응기의 종횡비가 변수로 변화되었으며 실험결과, 기판 표면 근처의 수직방향 온도 구배를 크게 유지하기 위해서는 보다 빠른 기체 유속의 사용, 보다 큰 반응기 종횡비의 사용, 그리고 질소의 사용이 유리함을 알 수 있었다.
An inverted, stagnation point flow OMVPE reactor was studied by laser Raman spectroscopy. Pure rotational Raman scattering by the carrier gas $(N_2; or; H_2)$ was used to determine the axial centerline temperature profile in the reactor as a function of the inlet flow velocity and the rector aspect ratio. A larger temperature gradient normal to the susceptor surface was obtained with higher gas glow velocity, larger aspect ratio, and the use of a $N_2$ carrier gas.