- 웨이퍼 가공기에서 회전 원판의 동특성에 미치는 불균일 장력의 영향 분석
- Analysis of Non-uniform Tension Effect on Dynamic Characteristics of Spinning Circular Plates in the Wafer Cutting Machine
- ㆍ 저자명
- 임경화
- ㆍ 간행물명
- 소음진동
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|8권 2호|pp.324-330 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국소음진동공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
