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글로우 방전 플라즈마에 의한 탄산가스 전환특성
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  • 글로우 방전 플라즈마에 의한 탄산가스 전환특성
저자명
곽동주,하양진,신용섭,최연석
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
1998년|11권 3호|pp.248-254 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In the present study the glow discharge characteristics of $CO_2$ in a parallel plate electrode system were investigated, and the decomposition properties of $CO_2$ concerned with the discharge characteristics were discussed. The results show that $CO_2$ concentration decreases with increase in discharge power and decrease in gas pressure. The maximum conversion of $CO_2$ by glow discharge was 52% under the conditions of gas pressure, 10m Torr and 290W of discharge power.