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Magnetic Properties and Microstructures of Co-Cr-(Pt)-Ta Magnetic Thin Films Sputtered on Self-textured Substrates
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  • Magnetic Properties and Microstructures of Co-Cr-(Pt)-Ta Magnetic Thin Films Sputtered on Self-textured Substrates
  • Magnetic Properties and Microstructures of Co-Cr-(Pt)-Ta Magnetic Thin Films Sputtered on Self-textured Substrates
저자명
Shin. Kyung-Ho,Chang. Han-Sung,Lee. Taek-Dong,Park. Joong-Keun
간행물명
전기전자재료
권/호정보
1998년|11권 10호|pp.72-77 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The effects of Al micro-bumps on the magnetic properties of CoCr(Pt)Ta/Cr films deposited on glass substrates were investigated. The coercivity increased and the coercivity squareness decreased by incorporating Cr/Al underlayers. The cause of the coercivity increase is attributed to the reduction of Co(0002) texture, the increase of magnetic isolation of CoCr(Pt)/Ta grains, and the refinement of CoCr(Pt)/Ta grains deposited on Cr/Al underlayers. The effects of an Al overlayer on the magnetic properties of CoCr(Pt)Ta/Cr films were also studied. The decrease of coercivity squareness is ascribed to the magnetic isolation of CoCr(Pt)Ta grains.