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Ti-실리사이드를 이용한 새로운 고내구성 전계방출소자의 제작
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  • Ti-실리사이드를 이용한 새로운 고내구성 전계방출소자의 제작
저자명
장지근,백동기,윤진모,임성규,장호정,Jang. Ji-Geun,Baek. Dong-Gi,Yun. Jin-Mo,Yun. Jin-Mo,Im. Seong-Gyu
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
1998년|8권 1호|pp.10-12 (3 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Si FEA 로부터 tip의 표면을 Ti금속으로 silicidation한 새로운 2극형 Ti-실리사이드 FEA를 제작하고 이의 전계방출 특성을 Si FEA의 경우와 비교하였다. 양극과 음극간의 거리를 10$mu extrm{m}$로 유지하고 $10^{-8}$Torr의 고진공 상태에서 측정한 실리사이드 FEA의 turn-on전압은 약 40V로, 전계방출전류와 정상상태 전류 변동율은 150V의 바이어스 아래에서 약 3x$10^{-2}$ $mu$A/tip와 0.1%min로 나타났다. Ti-실리사이드 FEA는 Si FEA에 비해 낮은 turn-on 전압, 높은 전계방출전류 및 고내구특성을 나타내었다.