- RF Magnetron Sputtering 으로 제작된 Co-based MnSbPt 합금박막의 자기광학적 성질
- ㆍ 저자명
- 윤현묵,홍연기,이경재,김종오,Yun. Hyeon-Muk,Hong. Yeon-Gi,Lee. Gyeong-Jae,Kim. Jong-O
- ㆍ 간행물명
- 한국재료학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|8권 3호|pp.195-199 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
R.F. Magnetron Sputtering 법으로 Co를 base로 MnSbPt 합금박막의 최적 열처리 조건은 $300^{circ}C$-4시간 이었으나, 종래의 MnSbPt 합금박막의 경우와 같이 수직자화막은 얻을 수 없었다. 보자력은 Co의 두께가 $250AA$에서 최대를 나타냈으나 약 500 Oe이하로 실용적 측면에서 불충분 하였다. 진공중에서 $300^{circ}C$ 4시간 열처리한 합금박막의 경우, 700nm의 입사파장에서 약 $0.78^{circ}$에 이르는 Kerr 회전각을 보이므로 고보자력을 지닌 수직자화막을 제조할 수 있다면 우수한 차세대 고밀도 자기 기록매체로서 유망하다.
Magnetic and Magneto-Optical properties of Co-based MnSbPt thin films prepared by R.F Sputtering were investigated. In this study, the optimum heat treatment condition was found to be $300^{circ}C$-4hours under a $5 imes10^{-6}$ Torr, but perpendicularly magnetized thin films could not be obtained. Coercive force showed maximum value of about 5000e at $250AA$ Co thickness but the value is not enough for practical use of the thin film. Heat treated Co-based MnSbPt thin film shows 0.78 degree of Kerr rotation angle for 700nm of incident wavelength.