- Effects of RF pulsing and axial magnetic field onionized magnetron sputtering
- Effects of RF pulsing and axial magnetic field onionized magnetron sputtering
- ㆍ 저자명
- Joo. Junghoon
- ㆍ 간행물명
- The Journal of Korean vacuum science & technology
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|2권 2호|pp.133-138 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
