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Metal induced crystallization of amorphous silicon using metal solution
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  • Metal induced crystallization of amorphous silicon using metal solution
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저자명
Yoon. Soo-Young,Oh. Jae-Young,Kim. Chae-Ok,Jang. Jin
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1998년|7권 1호|pp.123-133 (11 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Amorphous silicon (a-Si) was crystallized by metal induced crystallization using metal solution. The a-Si films spin coated with a 50,000 ppm Ni solution were crystallized at as low as $500^{circ}C$. Needlelike morphology, developed as a result of the migration of $NiSi_2$, precipitates, appears in the MIC poly-Si. The growth of the needlelike crystallites proceeds to a direction parallel to (111). The crystallization temperature can be lowered to $450^{circ}C$ by Au addition. The enhancement of crystallization results from the decrease of interfacial energy at the NiSi2/Si interface by Au addition.