광원의 직경이 $5{mu}m$ 수준인 X-선을 이용하여 미세 초점 X-선 단층촬영장치(computerized tomography system)를 제작하고 제어 및 계산 프로그램을 개발하였다. 본 장치는 비파괴검사용으로서 직경 20mm 이내의 시험체를 검사할 수 있다. 단층영상을 얻기 위한 계산 알고리즘으로서는 convolution back projection 알고리즘을 사용하였으며 광원의 형상을 평행 빔과 부채꼴 빔(fan beam) 등 두 종류를 사용하여 결과를 비교하였다. 장치의 제어 및 계산은 개인용 컴퓨터에서 동작하도록 하였다. 제작된 CT 장치와 프로그램을 이용하여 제작된 시편에 대하여 단층 영상을 복원하고 시편의 내부 구조 및 결함을 관찰하였다. 단층영상을 얻은 결과 실제 모습과 일치하는 재료내부의 결함에 대한 정보를 얻을 수 있었으며 해상도는 $20{sim}30{mu}m$정도인 것으로 판단되었다.
A computerized tomography system was developed using the X-ray source that has diameter of 5 micrometer. The system is used for the nondestructive testing of specimens with diameter below 20 mm. The convolution back projection algorithm was adopted for the reconstruction of cross sectional image, and the shape of the X-ray beam was let parallel beam or fan beam to compare each resultant image. Our CT system was constructed to operate based on the personal computer. The sectional images of the fabricated specimens were reconstructed and analyzed. The reconstructed images well coincided with real images taken with optical microscope and gave us enough reports on the defects in the ceramic specimen. The resolution of the system regarded as about $20{sim}30$ micrometers.
