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아세틸렌 플라스마를 이용한 다이아몬드성 탄소 박막의 제작 및 특성
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  • 아세틸렌 플라스마를 이용한 다이아몬드성 탄소 박막의 제작 및 특성
저자명
육도진,강성수,이원진,Youk. Do Jin,Kang. Sung Soo,Lee. Won Jin
간행물명
한국안광학회지
권/호정보
1998년|3권 1호|pp.1-8 (8 pages)
발행정보
한국안광학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

지주파 PECVD 방법으로 아세틸렌 분암비를 달리하면서 제작한 비정질 탄소 박막에서의 분광 특성을 조사하였다. Raman 분광으로부터 D 피크와 G 피크의 상대적인 세기로부터 $sp^3/sp^2$은 수소함량에 대한 경향성을 알 수가 있었으며, FTIR 분광으로부터 계산된 수소함량은 16~37 atm %, $sp^3/sp^2$d,s 0.22~1.44로 변화하였다. 이와 같은 분광특성에 의하여 최적의 아세틸렌 분압비는~15%임을 알 수가 있었다.

기타언어초록

The a-C:H films have been grown on the glass substrate by PECVD mathod, where plasma was generated with a 60Hz line power source. The carbonization is checked from peak intensities of D($sp^3$) and G($sp^2$) peaks in Raman spectra. The hydronization and C-H bonding status in films can also be determined from FTIR results. Both the bonding strength of C-H and the ratio of $sp^3$ to $sp^2$ in bonding are found to be slightly dependent of partial pressure of $C_2H_2$. Judging from above results, we can conclude that the best value for partial pressure of $C_2H_2$ in growing process of thick films is about 15%.