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ON/OFF 전류비를 향상시킨 새로운 bottom-gate 구조의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
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저자명
전재홍,최권영,박기찬,한민구,Jeon. Jae-Hong,Choe. Gwon-Yeong,Park. Gi-Chan,Han. Min-Gu
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
1999년|48권 5호|pp.315-318 (4 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have proposed and fabricated the new bottom-gated polycrystalline silicon (poly-Si) thin film transistor (TFT) with a partial amorphous-Si region by employing the selective laser annealing. The channel layer of the proposed TFTs is composed of poly-Si region in the center and a-Si region in the edge. The TEM image shows that the local a-Si region is successfully fabricated by the effective cut out of the incident laser light in the upper a-Si layer. Our experimental results show that the ON/OFF current ratio is increased significantly by more than three orders in the new poly-Si TFT compared with conventional poly-Si TFT. The leakage current is decreased significantly due to the highly resistive a-Si re TFTs while the ON-series resistance of the local a-Si is reduced significantly due to the considerable inducement of electron carriers by the positive gate bias, so that the ON-current is not decreased much.