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다이아몬드상 카본박막의 펄스레이저 증착법 연구
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  • 다이아몬드상 카본박막의 펄스레이저 증착법 연구
저자명
심경석,이상렬,Sim. Gyeong-Seok,Lee. Sang-Ryeol
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
1999년|48권 6호|pp.403-409 (7 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We fabricated diamond like carbon (DLC) thin films using pulsed laser deposition (PLD) method. Among many deposition parameters, the effects of the deposition temperature and the laser energy density were investigated. Structural properties of the films were studied by Raman spectroscopy. The surface morphologies and cross-section imagies of the films were investigated by atomic force microscopy (AFM) and scanning electron microscopy (SEM) respctively. DLC thin films fabricated at $12 J/cm^2$ of a laser energy density and $300^{circ}C$ of a deposition temperature showed the best quality.