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Sol-Gel법으로 제작한 PZT(30/70)/PZT(70/30) 이종층 박막의 구조 및 유전특성
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  • Sol-Gel법으로 제작한 PZT(30/70)/PZT(70/30) 이종층 박막의 구조 및 유전특성
저자명
김경균,정장호,이성갑,이영희,Kim. Gyeong-Gyun,Jeong. Jang-Ho,Lee. Seong-Gap,Lee. Yeong-Hui
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
1999년|48권 7호|pp.514-520 (7 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Ferroelectric PZT(30/70)/PZT(70/30) heterolayered thin films were fabricated by spin-coating method on the $Pt/Ti/SiO_2Si$ substrate alternately using(30/70) and PZT(70/30) alkoxide solutions prepared by sol-coating method. The coating and heating procedure was repeated six times to form PZT heterolayered films, and thickness of the film obtained by one-times drying/sintering process was about 40-50 nm. All PZT heterolayered films, showed dense and homogeneous structure without the presence of rosette sturctrue. The relative dielectric constant, remanent polarization and leakage current density of PZT heterolayered films were superior to those of single composition PZT(30/70) and PZT(70/30) films, and those values for the PZT-6 film were 975, $21 muC/cm^2; and; 8 imes10^{-9}; A/cm^2$, respectively. And the PZT-6 heterolayered film showed fairly good fatigue characteristics of remanent polarization and coercive field after application of $10^8$ switching cycles.