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미세가공 진동형 자이로스코프의 특성 감지 회로의 설계에 관한 연구
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  • 미세가공 진동형 자이로스코프의 특성 감지 회로의 설계에 관한 연구
저자명
우영신,변광균,서일원,성만영,U. Yeong-Sin,Byeon. Gwang-Gyun,Seo. Il-Won,Seong. Man-Yeong
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
1999년|48권 10호|pp.687-692 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A new technique to measure low level capacitance variations of the gyroscope is proposed and verified by computer simulation. It is based on the new CV(capacitance-voltage) converter circuit biased by dc current source and the peak detector without low pass filter. The CV converter biased by dc current source provides good signal-to-noise ratio and this setup of the detection circuitry without low pass filter makes it possible to provide short settling time, that is, higher speed of measurement and wide operation range if only a few parameters are adjusted. The key parameters that affect the performance of the detection circuitry are illustrated and computer simulation results are presented. The demonstrated detection circuitry shows linear response from 10 fF to 130 fF at 10 kHz and shows good linearity.