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Self-Compensation of PZT Errors in White Light Scanning Interferometry
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  • Self-Compensation of PZT Errors in White Light Scanning Interferometry
  • Self-Compensation of PZT Errors in White Light Scanning Interferometry
저자명
Kang. Min-Gu,Lee. Sang-Yoon,Kim. Seong-Woo
간행물명
Journal of the Optical Society of Korea
권/호정보
1999년|3권 2호|pp.35-40 (6 pages)
발행정보
한국광학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

One of main error sources in white light scanning interferometry is the inaccuracy of scanning mechanisms in that PZT(piezoelectric transducer) micro-actuators are preferably used. We propose a new calibration method that is capable of identifying actual scanning errors directly by analyzing the spectral distribution of sampled interferograms. This calibration provides an effective means of self-compensation for the non-linearity errors caused by PZT hysteresis, enhancing the measurement uncertainty to a level of 5 nanometers over an entire measuring range of 100 ${mu}{ extrm}{m}$.