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화학기상증착 다이아몬드 막의 레이저 평탄화
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  • 화학기상증착 다이아몬드 막의 레이저 평탄화
저자명
박영준,백영준
간행물명
요업학회지
권/호정보
1999년|36권 4호|pp.417-424 (8 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Laser lapping of diamond films is performed with focused beam of copper vapor laser. Both spherical and rod-shape laser beam are used. Diamond surface is scanned at various scan speeds(0,125, 0.5, 0.75 mm/sec) and baem shifts (5, 10, 20, 40, 100$mu extrm{m}$) At 0.125 mm/sec 10$mu extrm{m}$ scan condition the level difference of di-amond surface of about 700$mu extrm{m}$ over 20 mm is reduced to 200$mu extrm{m}$ In addition surface roughness is also im-proved from 3.53$mu extrm{m}$ to 2.47$mu extrm{m}$ at 5$mu extrm{m}$ beam shift. But at higher beam shift than 10$mu extrm{m}$ laser scan makes the surface rougher which is considered to be due to the non uniform spatial distribution of laser en-ergy. It is concluded that homogenized laser beam with high average power is needed for large area laser lapping of diamond films at appreciable rates.