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Mn-Ir의 조성과 두께 및 초기진공도에 따른 Mn-Ir/Ni-Fe/Zr 다층막의 자기적특성과 미세구조 연구
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  • Mn-Ir의 조성과 두께 및 초기진공도에 따른 Mn-Ir/Ni-Fe/Zr 다층막의 자기적특성과 미세구조 연구
저자명
노재철,최영석,이경섭,김용성,서수정
간행물명
韓國磁氣學會誌
권/호정보
1999년|9권 3호|pp.166-172 (7 pages)
발행정보
한국자기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 연구에서는 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 Mn-Ir/Ni-Fe/Zr/Si 다층막에서 Mn-Ir의 조성과 증착조건을 변화시키고 또한 Mn-Ir층의 두께를 조절한 후 자기적 특성과 미세구조에 대하여 고찰하였다. Mn-22at% Ir의 조성에서 219Oe의 가장 높은 Hex와 30Oe의 낮은 Hc를 얻을 수 있었다. 초기진공도가 3.0$ imes$10-6Torr 이상 일때는 교환이방성이 사라지게 되었으며 이것은 Mn-Ir의 비정질화와 결정립미세화에 의한 것으로 판단된다.

기타언어초록

The magnetic properties between Mn-Ir antiferromagnetic layer and Ni-Fe ferromagnetic layer have been investigated in Mn-Ir/Ni-Fe/Zr on Si wafer formed by magnetron sputtering. Mn-Ir was sputtered from Ir chips and Mn target using D.C. power, Ni-Fe and Zr were deposited from Ni-Fe and Zr targets using D.C. power under Ar atmosphere. We studied the dependence of the magnetic properties on Ir content of Mn-Ir layer for Mn-Ir/Ni-Fe bilayer, and obtained the highest $H_ex$ of 219 Oe and the low $H_c$ of 30 Oe. And then focused on the effect of base pressure for Mn-Ir containing multilayers. Our experimental data showed that if the base pressure is higher than $3.0{ imes}10^{-6};Torr$, the exchange anisotropy of Mn-Ir/Ni-Fe/Zr disappeared probably due to the grain refining of Mn-Ir film. In addition we have studied the dependence of Zr buffer on magnetic properties of Mn-Ir/Ni-Fe/Zr multilayers, and observed that Zr buffer about (111) texture and lower $H_c$ of Mn-Ir/Ni-Fe/Zr multilayer.