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Vapor Transport법에 의한 GaN 결정의 성장과 특성
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  • Vapor Transport법에 의한 GaN 결정의 성장과 특성
저자명
김선태,Kim. Seon-Tae
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
1999년|9권 3호|pp.295-300 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

액상의 Ga으로부터 공급되느 기체상태의 Ga과 $NH _3$를 $1050~1150^{circ}C$의 온도범위에서 직접 반응시켜 사파이어 기판위에 직경이 5~27$mu extrm{m}$이고, 높이가 $2~27mu extrm{m}$인 육각기둥 형태의 GaN 결정을 성장하였다. GaN 결정의 성장 초기에는 c-축 방향으로 우선 성장된 후 성장시간과 성장온도 및 $NH_3$의 유량이 증가함에 따라 기체상태의 Ga공급이 제한됨으로써 성장률이 둔화됨과 동시에 $alpha$-축 방향으로 우선 성장되었다. GaN 결정의 크기가 증가함에 따라 결정의 품질이 개선되어 X-선 회절강도와 중성도너에 구속된 엑시톤 관력 발광밴드 (Iulcorner)의 강도가 증가하고, Iulcorner 발광밴드의 반치폭이 감소하였다.