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Electrical characteristics of lateral poly0silicon field emission triode using LOCOS process
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  • Electrical characteristics of lateral poly0silicon field emission triode using LOCOS process
  • Electrical characteristics of lateral poly0silicon field emission triode using LOCOS process
저자명
Lee. Jae-Hoon,Lee. Myoung-Bok,Park. Dong-Il,Ham. Sung-Ho,Lee. Jong-Hyun,Lee. Jung-Hee
간행물명
The Journal of Korean vacuum science & technology
권/호정보
1999년|3권 1호|pp.38-42 (5 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Using the LOCOS process, we have fabricated the lateral type polysilicon field emission triodes with poly-Si/oxide/Si structure and investigated their current-voltage characteristics for three biasing modes of operation. The fabricated devices exhibit excellent electrical performances such as a relatively low turn-on anode voltage of 14 V at VGC = 0V, a stable and high emission current of 92${mu}$A/triode over 90 hours, a small gate leakage current of 0.23 ${mu}$A/triode and an outstanding transconductance of 57${mu}$S/5triodes at VGC = 5V and VAC = 26V. these superior electrical operation is believed to be due to a large field enhancement effect, which is related to the sharp cathode tips produced by the LOCOS process as well as the high aspect ratio (height /radius ) of the cathode tip end.