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Development of thin film getters for field emission display
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  • Development of thin film getters for field emission display
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저자명
Yoon. Young-Joon,Kim. Kyoung chan,Baik. Hong-Koo,Lee. Sung-Man
간행물명
The Journal of Korean vacuum science & technology
권/호정보
1999년|3권 1호|pp.74-78 (5 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

For a high efficient field emission display (FED), the specific vacuum conditions below 10-7 Torr should be required. However, because the FED has the geometrical restriction due to its micro size, the thin film getters can be proposed for chemical pumping as a way to reduce impurity gases in the panel. The thin film getters, developed by employing the coating of new materials such as NI or Pt on getter surface, can be used without any activation process and show the enhanced sorption characteristics. Especially, using the Zr (1${mu}{ extrm}{m}$) thin film getters with the Pt surface layer, the significant gettering for various active gases could be achieved from 9$ imes$10-5 Torr to 1$ imes$10-6 Torr or below. this good sorption properties is mainly contributed to the surface coating layer which shows the catalytic effect for gas dissociation and protects the getter materials against oxidation.