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Ion Beam을 이용한 사파이어($Al_2O_3$) 표면개질 및 금(Au) 박막증착: 접합성 향상 및 접학기구에 대한 연구
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  • Ion Beam을 이용한 사파이어($Al_2O_3$) 표면개질 및 금(Au) 박막증착: 접합성 향상 및 접학기구에 대한 연구
저자명
박재원,이광원,이재형,최병호
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1999년|8권 |pp.514-518 (5 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Gold (Au) is not supposed to react with sapphire(single crystalline <TEX.$Al_2O_3$) under thermodynamic equillibrium, therefore, a strong adhesion between these two dissimilar materials is not expected. However, pull test showed that the gold film sputter-deposited onto annealed and pre-sputtered sapphire exhibited very strong adhesion even without post-deposition annealing. Strongly and weakly adhered samples as a result of the pull testing were selected to investigate the adhesion mechanisms with Auger electron spectroscopy. The Au/<TEX.$</TEX>Al_2O_3$</TEX> interfaces were analyzed using a new technique that probes the interface on the film using Auger electron escape depth. It revealed that one or two monolayers of Au-Al-O compound formed at the Au/Sapphire interface when AES in the UHV chamber. It showed that metallic aluminum was detected on the surface of sapphire substrates after irradiating for 3 min. with 7keV Ar+ -ions. These results agree with TRIM calculations that yield preferential ion-beam etching. It is concluded that the formation of Au-Al-O compound, which is responsible for the strong metal-ceramic bonding, is due to ion-induced cleaning and reduction of the sapphire surface, and the kinetic energy of depositing gold atoms, molecules, and micro-particles as a driving force for the inter-facial reaction.