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NSOM장치의 제작 및 특성 평가
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  • NSOM장치의 제작 및 특성 평가
저자명
이주인,유성규,신정규,유필원
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1999년|8권 |pp.530-535 (6 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

W made a near-field optical microscope(NSOM) apparatus and evaluated it. To control the distance between a tip and a sample, we used a piezoelectric translator and a He-Ne laser, and consequently obtained the spatial resolution better than 100nm. For the semiconductor spectroscopic applications, we performed photoluminescence and photocurrent experiments on the GaAs/AlGaAs MQWs samples. In the case of PL experiment, we obtained the low signal to nose ration due to the extremely small power of a light source passing through the nanometric optical fiber tip. However photocurrent experiment shows a hundred times better signal to noise than that of PL experiment. This suggests that photocurrent experiment using NSOM have the possibility to provide the spatial resolution better than 10nm.